Depozice tenkých funkčních vrstev pro technologické aplikace

Nízkoteplotní plazma pro depozice tenkých vrstev

Nízkoteplotní plazma je slabě ionizovaný plyn, který obsahuje nabité částice s velkou energií. Tyto unikátní vlastnosti plazmatu jsou využívány k nanášení tenkých vrstev. Depoziční proces probíhá za nízkého tlaku, což mimo jiné umožňuje dosáhnout vysokého stupně čistoty deponovaných struktur. Plazma je generováno elektrickými výboji optimalizovanými pro depoziční proces.

Plazma 01

Tenké vrstvy pro technologické aplikace

Tenkou vrstvou se rozumí vrstva o tloušťce v rozmezí cca 10 nm–1 µm, která zásadně změní vlastnosti povrchu, aniž by ovlivnila strukturu nosného (podkladového) materiálu. Oblasti využití:

mikroelektronika - polovodiče, solární články, transparentní elektrody
optické vrstvy - „barevná skla“, filtry, zrcadla, fotoaktivní vrstvy
tvrdé ochranné vrstvy - řezné nástroje, exponované části motorů
biokompatibilní vrstvy – vrstvy kompatibilní s živým organismem

Plazma 01

Výzkum moderních nanostrukturovaných materiálů pro bio-technologické aplikace

Nanostrukturované materiály a povrchy reprezentují současný směr výzkumu nových funkčních materiálů. Vlastnosti nanostrukturovaných povrchů vycházejí z rozměrů nanočástic v rozsahu cca 1 – 100 nm. Nanostrukturované povrchy jsou v laboratoři připravovány depozicí nanočástic nebo nastavením podmínek vedoucích k depozici nanostrukturovaného povrchu. Nanostrukturované povrchy lze s výhodou použít při přípravě:

katalytických vrstev
vrstev se zvýšenou adhezí (např. vazby s chemickými látkami)
struktur pro detektory nebo zesilovače
povrchů se specifickými optickými vlastnostmi

Další a podrobnější informace:

http://www.prf.jcu.cz/plazma

RNDr. Růžena Štemberková

Mobil: +420 702 027 182

E-mail: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

Completed projects

Jihočeské Univerzitní a Akademické CTT

The project supported from the Operational programme Research and Development for Innovations whose aim is the setting and opening the Centre of Transfer of Technologies with two mutually co-operating departments on the side of the University of South Bohemia in České Budějovice and on the side of the Biological Centre of The Czech Academy of Sciences.

Bridge4Innovation

Bridge4Innovation is a project of The University of South Bohemia in České Budějovice, the South Bohemian Agency for Support of the Innovative Business and the Biological Centre of The Czech Academy of Sciences financed from the European Social Fund of the European Union.